Китай представил электронный микроскоп с разрешением 0,1 нанометра
Китайская компания CIQTEK представила просвечивающий электронный микроскоп TEM-F200, способный исследовать структуру материалов на атомном уровне. Прибор работает с ускоряющим напряжением 200 киловольт, обладает информационным разрешением 0,1 нанометра и точечным разрешением 0,25 нанометра. Производитель объявил о начале серийного выпуска оборудования, которое может снизить зависимость китайских исследовательских центров и предприятий микроэлектроники от зарубежных поставщиков.
Презентация состоялась 18 октября 2026 года на Национальной конференции по электронной микроскопии в Нанкине. Разработчиком выступила компания CIQTEK из города Хэфэй. По её данным, ключевые компоненты микроскопа созданы собственными специалистами, а технические характеристики соответствуют уровню современных зарубежных аналогов.
В отличие от обычных оптических микроскопов, TEM-F200 использует пучок электронов, проходящий через очень тонкий образец. Это позволяет изучать расположение атомов в кристаллических структурах, исследовать границы между материалами и обнаруживать мельчайшие дефекты. Информационное разрешение 0,1 нанометра характеризует предельный масштаб деталей, информацию о которых способна передать электронно-оптическая система, тогда как точечное разрешение 0,25 нанометра определяет способность различать близко расположенные элементы структуры.
Для получения изображений высокой чёткости инженеры разработали стабильный высоковольтный источник питания, систему охлаждения электронно-оптических компонентов и цифровую камеру Xingyao-16M с разрешением 4096 × 4096 пикселей. Камера способна записывать до 24 кадров в секунду при полном разрешении. Прибор также поддерживает дополнительные методы анализа, включая определение химического состава исследуемых образцов.
Одним из основных направлений применения TEM-F200 станет полупроводниковая промышленность. По мере уменьшения размеров элементов микросхем производителям необходимо контролировать толщину тонких плёнок, качество соединений между слоями и наличие дефектов в кристаллической структуре. Даже незначительные нарушения могут влиять на характеристики и надёжность электронных компонентов.
CIQTEK продемонстрировала возможности микроскопа на образцах современных полупроводниковых устройств, включая транзисторы FinFET и микросхемы памяти. При исследовании транзисторной структуры удалось получить изображения кристаллической решётки с разрешением около 0,1045 нанометра. Прибор также предназначен для изучения металлических сплавов, наночастиц и других материалов, используемых в промышленности и научных исследованиях.
Разработка TEM-F200 стала очередным этапом развития китайского производства высокоточных научных приборов. В 2024 году в стране представили коммерческий электронный микроскоп с ускоряющим напряжением 120 киловольт, а в 2025 году компания Bozhon Instruments продемонстрировала модель на 200 киловольт. Одновременно с TEM-F200 компания CIQTEK представила более доступную модель TEM-F120, ориентированную в том числе на биологические исследования.
По заявлению руководства CIQTEK, предприятие готово к серийному производству и поставкам TEM-F200. При этом сведения о количестве уже изготовленных приборов, объёмах заказов и стоимости оборудования пока не опубликованы. Распространение нового микроскопа позволит расширить возможности китайских лабораторий и предприятий в исследовании материалов на атомном уровне.